Tussenstand: Luke Krieg

r.ir. Joseph Braat (optical research group)

Tussenstand:nog één jaar te gaan

,,Drie jaar geleden ben ik vanuit Nieuw-Zeeland mijn vriendin achterna gereisd naar Europa: zij studeert politicologie in Nederland. Na een korte tijd aan de ETH in Zürich ben ook ik hierheen gekomen om aan de slag te gaan als promovendus in de optica.

Mijn onderzoek bestaat uit het heel nauwkeurig meten van de vorm van lithografische spiegels. Met behulp van deze spiegels wordt de chipstructuur op de nieuwe generatie microchips geprojecteerd. Deze structuurelementen zijn niet alleen klein, maar moeten ook uiterst nauwkeurig zijn: de vorm van de spiegel moet preciezer zijn dan eenhonderdste van de gebruikte golflengte. In de toekomst zal licht met een golflengte van dertien nanometer gebruikt gaan worden, zodat je de chipstructuur van dezelfde orde grootte kunt schrijven. Dan heb je het dus over een nauwkeurigheid van de spiegel van 0.13 nm, dezelfde schaal als de grootte van atomen. Doel van mijn promotie is het ontwikkelen van een nieuwe techniek om met die gewenste nauwkeurigheid te kunnen meten.

Nu is het alleen mogelijk om een deel van het oppervlak te controleren en niet het geheel. Hierdoor gaat veel tijd en geld verloren. Ik onderzoek of je door middel van multiple wave length-interferometrie de spiegels wel in zijn geheel kunt meten. Hiervoor gebruik ik drie lichtbronnen, elk met een verschillende golflengte.

Voor mijn onderzoek heb ik contact met Carl Zeiss in Oberkochen in Duitsland, een bedrijf dat de spiegels levert. Ik verzin en bouw meetopstellingen. Daarnaast maak ik een model om het geheel ook theoretisch te begrijpen. Want je meet wel van alles, maar het vertalen van meetgegevens naar een reële vorm is alles behalve eenvoudig.

Dit semester ben ik daarnaast docent van het mastervak inverse problems. Ik denk dat ik de jongste docent ben op de universiteit. Voordeel is dat ik daardoor meer aansluiting heb met de studenten. Door middel van een ‘Snickers Challenge’ probeer ik de studenten enthousiast te krijgen voor een interactief college. Aan het eind van het college stel ik een vraag. Wie het volgende college het goede antwoord heeft, verdient een reep chocolade.

Over mijn promotietraject ben ik erg tevreden. Bij de ETH ben ik al snel weggegaan, mede omdat het contact met mijn supervisor niet naar mijn tevredenheid verliep. In eerste instantie aarzelde ik om de opdracht in Delft aan te nemen: het is een vrij toegepast onderzoek. En hoe theoretischer het onderzoek is, hoe meer verheven het is, zo dacht ik een paar jaar geleden. Maar na een gesprek met mijn promotor was ik meteen om.

Wat vervelend is van onderzoek doen, is dat je heel vaak bezig bent om opnieuw het wiel uit te vinden. Hopelijk komt hier verbetering in met het initiatief van de universiteitsbibliotheek om alle (wiskundige) publicaties en proefschriften elektronisch beschikbaar te stellen.” (MvR)

Naam: Luke Krieg (25)

Nationaliteit: Zwitserse en Nieuw-Zeelandse

Onderwerp: nauwkeurig meten van lithografische spiegels

Promotor: prof.dr.ir. Joseph Braat (optical research group)

Tussenstand:nog één jaar te gaan

,,Drie jaar geleden ben ik vanuit Nieuw-Zeeland mijn vriendin achterna gereisd naar Europa: zij studeert politicologie in Nederland. Na een korte tijd aan de ETH in Zürich ben ook ik hierheen gekomen om aan de slag te gaan als promovendus in de optica.

Mijn onderzoek bestaat uit het heel nauwkeurig meten van de vorm van lithografische spiegels. Met behulp van deze spiegels wordt de chipstructuur op de nieuwe generatie microchips geprojecteerd. Deze structuurelementen zijn niet alleen klein, maar moeten ook uiterst nauwkeurig zijn: de vorm van de spiegel moet preciezer zijn dan eenhonderdste van de gebruikte golflengte. In de toekomst zal licht met een golflengte van dertien nanometer gebruikt gaan worden, zodat je de chipstructuur van dezelfde orde grootte kunt schrijven. Dan heb je het dus over een nauwkeurigheid van de spiegel van 0.13 nm, dezelfde schaal als de grootte van atomen. Doel van mijn promotie is het ontwikkelen van een nieuwe techniek om met die gewenste nauwkeurigheid te kunnen meten.

Nu is het alleen mogelijk om een deel van het oppervlak te controleren en niet het geheel. Hierdoor gaat veel tijd en geld verloren. Ik onderzoek of je door middel van multiple wave length-interferometrie de spiegels wel in zijn geheel kunt meten. Hiervoor gebruik ik drie lichtbronnen, elk met een verschillende golflengte.

Voor mijn onderzoek heb ik contact met Carl Zeiss in Oberkochen in Duitsland, een bedrijf dat de spiegels levert. Ik verzin en bouw meetopstellingen. Daarnaast maak ik een model om het geheel ook theoretisch te begrijpen. Want je meet wel van alles, maar het vertalen van meetgegevens naar een reële vorm is alles behalve eenvoudig.

Dit semester ben ik daarnaast docent van het mastervak inverse problems. Ik denk dat ik de jongste docent ben op de universiteit. Voordeel is dat ik daardoor meer aansluiting heb met de studenten. Door middel van een ‘Snickers Challenge’ probeer ik de studenten enthousiast te krijgen voor een interactief college. Aan het eind van het college stel ik een vraag. Wie het volgende college het goede antwoord heeft, verdient een reep chocolade.

Over mijn promotietraject ben ik erg tevreden. Bij de ETH ben ik al snel weggegaan, mede omdat het contact met mijn supervisor niet naar mijn tevredenheid verliep. In eerste instantie aarzelde ik om de opdracht in Delft aan te nemen: het is een vrij toegepast onderzoek. En hoe theoretischer het onderzoek is, hoe meer verheven het is, zo dacht ik een paar jaar geleden. Maar na een gesprek met mijn promotor was ik meteen om.

Wat vervelend is van onderzoek doen, is dat je heel vaak bezig bent om opnieuw het wiel uit te vinden. Hopelijk komt hier verbetering in met het initiatief van de universiteitsbibliotheek om alle (wiskundige) publicaties en proefschriften elektronisch beschikbaar te stellen.” (MvR)